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20W EUV光源
激光驱动白光光源
用于HVM的的EUV光源的一大优势就在于可以在10 kHz或更高的脉冲重复频率下运行。光源本身具有小型紧凑成本低且用户友好等特点，加之采用Z-pinchM技术，非常适用于计量以及研究等应用。
主要特征 
返回列表页产品特点
-独特的无电极Z-Pinch技术〔(专利正在申请中)低电极碎巴/低成本
典型应用
-符合CE和SEMI S2-0715标准
产品特征
·小型紧凑性价比高占地面积小
