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高脉冲重频10kHz EUV光源
激光驱动白光光源
用于HVM的EUV光源的一大优势就在于可以在10 kHz或更高的脉冲重复频率下运行。光源本身具有小型紧凑成本低且用户友好等特点,加之采用Z-pinchM技术,非常适用于计量以及研究等应用。
主要特征
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产品特点
-符合CE和SEMl S2-0715标准
典型应用
-小型紧凑性价比高占地面积小
产品特征
以一周七天,每天24小时连续工作