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10 Watt EUV光源
激光驱动白光光源
EQ-10采用了升级版的无电极Z-pinchT技术，具有紧凌易用，高可靠性以及低成本等特点非常适用于测量以及研究等应用领域。该款光源已经在全球交付30多台，均得到客户的一致好评，现已经成为EUV用户的主要光源来源。
主要特征 
返回列表页产品特点
-独特的无电极Z-Pinch技术〔专利正在申请中)低电极碎巴/低成本
典型应用
–使用Xenon将10W转换为2pi产品功率充足适用于各种应用
产品特征
-高达2 kHz的三复频率可以一周七天，每天24小时连续工作
