产品分类
产品中心
集成式MEMS振镜
MEMS振镜控制器
直径高达2.4毫米的集成MEMS振镜是单片制造的，作为无万向节执行器设备结构的集成部分。它们是硅芯片的中心区域，与周围的静电致动器共享相同的微细加工步骤。这些镜子由相同的可用硅层构成，具有几乎完全平坦和光滑的硅表面。在四个侧面，镜子连接到提供两轴运动的双轴连杆。自2016年以来，我们不断库存具有以下直径的集成反射镜的设备:0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有库存的集成反射镜都涂有纯铝，可在非常宽的波长范围内提供高反射率。金金属化可以在晶圆规模上进行，因此可用于更大的生产订单。
主要特征 
返回列表页标准模块光学参数
| 型号/系列 | 机械偏转角[°] | 磨具尺寸[mm] | 振镜直径[mm] |
|---|---|---|---|
| A3I8.2-800AL | ±6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 |
| A7M8.1-800AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 |
| A7M10.2-1000AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 1 |
| A3112.2-1200AL | ±5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 |
| F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 |
| A7M20.2-200OAL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2 |
| A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 |
